一般而言，設備的照常運行再正常不過了，只是任何東西都有出毛病的可能，真空等離子清洗機同樣如此，那若是它在使用過程中，出現了故障并響起報警鈴聲，我們應該怎么排查問題，解決問題呢？

　　

　　今天我們將會在這里介紹真空等離子清洗機出現報警情況時可能的一些原因。

　　

　　出現警報聲可能的幾種原因

　　

　　一、真空泵過載保護

　　

　　當真空等離子清洗機出現報警情況時，其中有一種可能就是真空泵過載保護，在發(fā)生此類情況時，需要先檢查系統(tǒng)參數有沒有變化，因為在這種情況下，設備會中止供電，系統(tǒng)的各參數會歸零，于是才會響起警報聲。

　　

　　如果經過檢查后系統(tǒng)參數并沒有發(fā)生變化，就需要確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵后啟動真空等離子處理系統(tǒng)的真空發(fā)生系統(tǒng)。如無自動保護，就需要檢查電氣線路是否有斷路或短路情況。若是以上均無異常情況，就再檢查真空泵情況。

　　

　　二、顯示放空氣體壓力過低

　　

　　出現這種故障時，可能是氣體未開啟或氣體已耗盡，需要檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無出現斷路或短路的現象。

　　

　　三、真空泵倒計時時間故障

　　

　　當遇到此類故障時需要先檢查真空泵抽真空能力，故障排除后再點擊復位鍵，出現滲氣或真空門未關到位都會影響真空泵抽真空能力。除了這些外還需要逐級檢查等離子真空處理系統(tǒng)中的各連接點，看是否有管道連接不良或損壞的情形。

　　

　　四、CDA壓力過低報警

　　

　　此報警也叫破空氣體壓力過低報警，是因為壓縮空氣的氣壓不足導致的，主要出現于配有高真空氣動擋板閥的等離子處理設備，出現此報警時需檢查CDA是否正常供氣到設備端。確認供氣壓力有無過高或過低，還要看減壓表的報警值設定是否正確，處理這些之外還要再對電氣線路進行檢查。

　　

　　五、真空計故障報警

　　

　　真空計故障報警的原因就是由于真空計損壞造成的，這時需要我們檢查真空計的控制線路是否有斷路和短路的情況。

　　

　　這些就是當真空等離子清洗機出現報警情況時可能的一些原因了，出現故障并沒有那么可怕，更何況任何設備都有出現故障的可能，在這種情況下，我們只需要耐心起來，按照步驟逐級檢查，問題很容易就會被解決。